出产办法不一样质料不一样。现有的出产办法有以下这些： 

1，改进西门子法——闭环式三氯氢硅氢复原法 

改进西门子法是用氯和氢组成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在必定的温度下组成三氯氢硅（国内出产厂家通常直接采购三氯氢硅质料），然后对三氯氢硅进行别离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢复原炉内进行CVD反响出产高纯多晶硅。 

国内外现有的多晶硅厂绝大有些选用此法出产电子级与太阳能级多晶硅。 

2，硅烷法——硅烷热分化法 

硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分化法、氢化物复原法、硅的直接氢化法等办法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分化炉出产纯度较高的棒状多晶硅。曾经只要日本小松把握此技能，由于发作过严峻的爆破事端后，没有持续扩大出产。但美国Asimi和SGS公司仍选用硅烷气热分化出产纯度较高的电子级多晶硅商品。 

3，流化床法 

以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为质料在流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反响生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。 

制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反响炉内进行接连热分化反响，生成粒状多晶硅商品。由于在流化床反响炉内参加反响的硅表面积大，出产效率高，电耗低与成本低，适用于大规模出产太阳能级多晶硅。仅有的缺陷是安全性差，危险性大。其次是商品纯度不高，但基本能满意太阳能电池出产的运用。 

此法是美国联合碳化合物公司早年研究的技术技能。现在世界上只要美国MEMC公司选用此法出产粒状多晶硅。此法对比合适出产价廉的太阳能级多晶硅。 

4，太阳能级多晶硅新技术技能 

除了上述改进西门子法、硅烷热分化法、流化床反响炉法三种办法出产电子级与太阳能级多晶硅以外，还涌现出几种专门出产太阳能级多晶硅新技术技能。 

     1）冶金法出产太阳能级多晶硅 

据材料报道日本川崎制铁公司选用冶金法制得的多晶硅已在世界上太阳能电池厂（SHARP公司）使用，现已构成800吨/年的出产能力，全量供应SHARP公司。 

首要技术是：挑选纯度较好的工业硅（即冶金硅）进行水平区熔单向凝结成硅锭，去掉硅锭中金属杂质集合的有些和表面有些后，进行粗破坏与清洁，在等离子体融解炉中去掉硼杂质，再进行第2次水平区熔单向凝结成硅锭，去掉第2次区熔硅锭中金属杂质集合的有些和表面有些，经粗破坏与清洁后，在电子束融解炉中去掉磷和碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅。 

      2）气液堆积法出产粒状太阳能级多晶硅 

据材料报道以日本Tokuyama公司为代表，现在10吨试验线在运转，200吨半商业化规模出产线在2005-2006年间投入试运转。 

首要技术是：将反响器中的石墨管的温度增加到1500℃，流体三氯氢硅和氢气从石墨管的上部写入，在石墨管内壁1500℃高温处反响生成液体状硅，然后滴入底部，温度回升成为固体粒状的太阳能级多晶硅。 

      3）重掺硅废料提纯法出产太阳能级多晶硅